电子薄膜应力分布测试仪 型号:BGS 6341
主要用途、功能及特点
该产品主要应用在微电子、光电子生产线上和科研、教学等领域Si、Ge、GaAs等半导体基片及电子薄膜应力分布、光学零件面形和平整度面形、 基片曲率半径测量测试。该仪器总测量点数多，能给出全场面型分布结果，适合于微电子生产线上产品质量的快速检验和微电子生产工艺研究。仪器基于干涉计量的全场测试原理，可实时观测面型的分布，迅速了解被测样品的形貌及应力集中位置，及时淘汰早期失效产品。▪ 国际首创的错位相移技术 ▪ 计算机自动条纹处理 ▪ 测试过程全自动 ▪ 先进的曲面补偿测试原理
主要技术参数
最大样品尺寸 ≤ 100 mm （4英寸）
曲率范围 | R | ≥ 5 m
测试精度 5%
单片测量时间 3 分钟/片
结果类型 面形、曲率半径、应力分布、公式表示、数据表格
图形显示功能 三维立体显示、二维伪彩色显示、单截面曲线显示
电 源 AC 220V±10%，50Hz±5%
最大功耗 100W
外型尺寸(L×W×H) 285mm×680mm×450mm
重 量 36kg
工作温度 +10℃ ~ +40℃
存贮温度 -40℃ ~ +70℃
电磁兼容性 符合 GJB 3947-2000中3.10条的规定要求
安 全 性 符合 GJB 3947-2000中的规定要求
可 靠 性 MTBF(θ0)≥2000小时
