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改进型膜厚探测仪     型号:FTP 

 

 

主要用途、功能及特点 
FTP 改进型膜厚探测仪结构严谨可靠,可快速而精确地测量透明或弱吸收膜的厚度和反射率(单层膜和多层膜)。广泛用于半导体,玻璃,塑料箔,金属薄片以及蜡光纸涂层领域,如: 半导体上的绝缘体;半导体上的半导体;硅上的聚合体;透明基材上的膜;金属基材上的膜。FTP 改进型膜厚探测仪的软件具有超大材料数据库,强大的分析工具,以及良好的检测报告功能。任何装有Win 2000,WinXP,WinNT 操作系统的现代art PC 和局域网连接都可以使用。绘图软件显示用户定义图案,统计数据以及图形。▪ 薄膜材料的膜厚和反射率测量▪ 半导体材料的实时、在线工艺质量检测、评估和分析▪ 用于研究和教学目的的试验和分析

主要技术参数
FTPadv-1/FTPadv-2
厚度范围      50nm ~ 25mm(FTPadv-2) 
              50nm ~ 20mm(FTPadv-1)
 
准确度        1nm(400nm SiO2/Si)
 
精确度        0.3nm(1s)(400nm SiO2/Si)
 
测量时间      300ms
 
光谱范围      450…920nm(通常)
 
测量点  FTPadv-1:直径80mm(10 x 镜头放大) 
        FTPadv-2:2 ~ 4mm
 
电源要求   100 ~ 240VAC, 50 ~ 60Hz, 1.0A 
 
FTPadv-2
稳定光源   卤素灯,20W