改进型膜厚探测仪 型号:FTP
主要用途、功能及特点
FTP 改进型膜厚探测仪结构严谨可靠，可快速而精确地测量透明或弱吸收膜的厚度和反射率(单层膜和多层膜)。广泛用于半导体，玻璃，塑料箔，金属薄片以及蜡光纸涂层领域，如: 半导体上的绝缘体；半导体上的半导体；硅上的聚合体；透明基材上的膜；金属基材上的膜。FTP 改进型膜厚探测仪的软件具有超大材料数据库，强大的分析工具，以及良好的检测报告功能。任何装有Win 2000，WinXP，WinNT 操作系统的现代art PC 和局域网连接都可以使用。绘图软件显示用户定义图案，统计数据以及图形。▪ 薄膜材料的膜厚和反射率测量▪ 半导体材料的实时、在线工艺质量检测、评估和分析▪ 用于研究和教学目的的试验和分析
主要技术参数
FTPadv-1/FTPadv-2
厚度范围 50nm ~ 25mm（FTPadv-2）
50nm ~ 20mm（FTPadv-1）
准确度 1nm（400nm SiO2/Si）
精确度 0.3nm（1s）（400nm SiO2/Si）
测量时间 300ms
光谱范围 450…920nm（通常）
测量点 FTPadv-1：直径80mm（10 x 镜头放大）
FTPadv-2：2 ~ 4mm
电源要求 100 ~ 240VAC, 50 ~ 60Hz, 1.0A
FTPadv-2
稳定光源 卤素灯，20W
