椭偏仪 型号:SE850
主要用途、功能及特点
极管SE850型是一种高性能分光光谱椭偏仪，基于UV/VIS光谱范围内的二极管阵列探测和NIR光谱范围内的快速干涉仪模块探测。在NIR光谱内应用FT-IR分光仪，不仅提高速度，分辨率和信噪比，而且还能提供自动波长校准。配备高精度计算机控制的测角仪。基于Windows 和GRAMS的椭偏仪软件SPECTRARAY，包括简便数据读取、椭偏光谱的建模和拟和数据库，可用于多角度，多样品和光学参数的测定数据分析。SE850的补偿器件能使椭偏仪以最高的精度和无以伦比的重复性进行椭偏测量。快速的数据采集和完整的光谱区域使得SE850成为多层膜样品的厚度和光学参数测量的理想工具。
▪ 薄膜和层堆厚度与折射率测量
▪ UV-VIS-NIR 光谱范围内材料光学性能测量
▪ Index 梯度测量
▪ 表面与界面粗糙度测量
▪ 材料成分确定
▪ 厚度达30mm 的厚膜分析
▪ 特别适合于包含半导体材料的分析(InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
▪ 极快速测量在UV/VIS/NIR范围可用于多元检测
▪ 基于FT-IR和二极管阵列探测的高分辨率测量
▪ 检偏器步进扫描原理
主要技术参数
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名义光谱范围 |
350 ~ 1700nm |
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UV光谱范围(可选) |
280 ~ 850nm |
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NIR光谱范围(可选) |
1700 ~ 2300nm |
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薄膜厚度测量范围 |
0.1 ~ 30mm |
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厚度测量精度 |
0.01 ~ 0.03nm |
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折射测量精度 |
0.0005 |
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测量时间 |
30s（全部 y 和 D 光谱） |
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UV/VIS: 通常 <10s | |
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NIR: 通常 <60s | |
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入射角（可选） |
40° ~ 90°（最小步进0.01°） |
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手动样品台（可选） |
X-Y，150mm 行程 |
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自动样品台（可选） |
X-Y，50 ~ 200mm 行程（综合绘制软件） |
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SPECTRARAY 软件 |
基于Windows 和GRAMS 的椭偏仪专业软件 |
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附加选项 |
计算机控制起偏器 |
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输送样品夹 | |
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用于样品同步与检测的摄像机 | |
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液体池 | |
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FTPAdvanced 薄膜测量仪，光点直径80mm | |
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微区装置 | |
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绘制自动校准镜 | |
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SENTECH 测试样品 | |
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附加椭偏仪软件SPECTRARAY II |
