氢氟酸 型号:JS132
| 类别 |
EL |
CMOS |
UL |
| 含量(HF),% |
min40.0 |
min40.0 |
min40.0 |
| |
49.0±0.5 |
49.0±0.2 |
49.0±0.2 |
| 色度(Hazen),max |
10 |
10 |
10 |
| 氟硅酸(H2SiF6),ppm;max |
100 |
50 |
50 |
| 杂质最高含量,ppb |
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|
| 灼烧残渣,max |
5000 |
3000 |
2000 |
| 氯化物(Cl),max |
5000 |
3000 |
2000 |
| 磷酸盐(PO4),max |
1000 |
500 |
500 |
| 硫酸盐(SO4),max |
5000 |
1000 |
1000 |
| 亚硫酸盐(SO3),max |
3000 |
1000 |
500 |
| 铝(Al),max |
|
50 |
10 |
| 锑(Sb),max |
|
20 |
10 |
| 砷(As),max |
50 |
30 |
10 |
| 钡(Ba),max |
|
50 |
10 |
| 铍(Be),max |
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|
10 |
| 铋(Bi),max |
|
20 |
10 |
| 硼(B),max |
|
20 |
10 |
| 镉(Cd),max |
|
50 |
10 |
| 钙(Ca),max |
100 |
50 |
10 |
| 铬(Cr),max |
|
10 |
10 |
| 钴(Co),max |
|
20 |
10 |
| 铜(Cu),max |
100 |
20 |
10 |
| 镓 (Ga),max |
|
20 |
10 |
| 锗(Ge),max |
|
|
10 |
| 铟(In),max |
|
20 |
10 |
| 金(Au),max |
|
50 |
10 |
| 铁(Fe),max |
300 |
100 |
10 |
| 铅(Pb),max |
100 |
20 |
10 |
| 铂(Pt),max |
|
50 |
10 |
| 锂(Li),max |
|
20 |
10 |
| 镁(Mg),max |
100 |
50 |
10 |
| 锰(Mn),max |
|
20 |
10 |
| 钼(Mo),max |
|
50 |
10 |
| 镍(Ni),max |
|
50 |
10 |
| 铌(Nb),max |
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|
10 |
| 钾(K),max |
|
50 |
10 |
| 银(Ag),max |
|
20 |
10 |
| 钠(Na),max |
500 |
100 |
10 |
| 锶(Sr),max |
|
|
10 |
| 钽(Ta),max |
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|
10 |
| 铊(Tl),max |
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10 |
| 锡(Sn),max |
|
20 |
10 |
| 钛(Ti),max |
|
50 |
10 |
| 钒(V),max |
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|
10 |
| 锌(Zn),max |
|
50 |
10 |
| 锆(Zr),max |
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|
10 |
| 颗粒,(个/ml) |
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| ≥0.5μm,max |
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100 |
30 |
| ≥1.0μm,max |
25 |
10 |
5 | 1.性状 分子式:HF 分子量:20.01 无色液体,密度(25℃)1.13g/ml。在空气中发烟,呈强酸性。对金属、玻璃有强烈腐蚀。 2.用途 强酸性清洗腐蚀剂,可与氟化铵、硝酸、冰乙酸等配套使用,主要用于集成电路的生产。 3.贮存与运输 强酸性腐蚀品。密闭包装,并贮存于阴凉通风处。 UN N0:1790 CN NO:81016 4.包装及标志 0.5L、4L、20L、200L聚乙烯瓶(桶)包装。腐蚀、有毒品。 |
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