氟化铵腐蚀液 型号:JS132
| 类别 |
EL |
CMOS |
UL |
| 含量(NH4F),% |
±0.4 |
±0.4 |
±0.4 |
| 含量(HF),% |
±0.25 |
±0.25 |
±0.25 |
| 氟硅酸盐(SiF6),ppm;max |
100 |
50 |
50 |
| 杂质最高含量,ppb |
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| 灼烧残渣,max |
|
10000 |
5000 |
| 氯化物(Cl),max |
4000 |
3000 |
3000 |
| 磷酸盐(PO4),max |
1000 |
500 |
500 |
| 硫酸盐(SO4),max |
2000 |
1500 |
1000 |
| 铝(Al),max |
|
50 |
10 |
| 锑(Sb),max |
|
50 |
10 |
| 砷(As),max |
100 |
30 |
10 |
| 钡(Ba),max |
|
50 |
10 |
| 铍(Be),max |
|
|
10 |
| 铋(Bi),max |
|
50 |
10 |
| 镉(Cd),max |
|
20 |
10 |
| 钙(Ca),max |
|
50 |
10 |
| 铬(Cr),max |
|
50 |
10 |
| 钴(Co),max |
|
20 |
10 |
| 铜(Cu),max |
100 |
20 |
10 |
| 镓 (Ga),max |
|
50 |
10 |
| 锗(Ge),max |
|
|
10 |
| 铟(In),max |
|
50 |
10 |
| 金(Au),max |
|
50 |
10 |
| 铁(Fe),max |
100 |
50 |
10 |
| 铅(Pb),max |
100 |
50 |
10 |
| 铂(Pt),max |
|
50 |
10 |
| 锂(Li),max |
|
50 |
10 |
| 镁(Mg),max |
|
50 |
10 |
| 锰(Mn),max |
|
50 |
10 |
| 钼(Mo),max |
|
50 |
10 |
| 镍(Ni),max |
100 |
50 |
10 |
| 钾(K),max |
100 |
50 |
10 |
| 银(Ag),max |
|
50 |
10 |
| 钠(Na),max |
100 |
50 |
10 |
| 锶(Sr),max |
|
|
10 |
| 锡(Sn),max |
|
50 |
10 |
| 钛(Ti),max |
|
50 |
10 |
| 锌(Zn),max |
|
50 |
10 |
| 颗粒,(个/ml) |
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| ≥0.5μm,max |
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150 |
50 |
| ≥1.0μm,max |
25 |
10 |
10 | 1.性状
氟化铵的酸性溶液，无色透明，密度（25℃）1.06g/ml。呈酸性，遇热分解。
2.用途
二氧化硅层的缓冲氧化腐蚀剂，主要用于集成电路的生产。
3.贮存与运输
酸性腐蚀品。密闭包装，并贮存于阴凉通风处。
UN N0：1727 CN NO：83003
4.包装及标志
0.5L、1L、4L、5L、20L、200L聚乙烯瓶（桶）包装。腐蚀品。 |
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