型号 |
制水量 |
超纯水水质 |
LH100L-1 |
100L/H |
超纯水电阻率≥2~10 MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
重金属<0.01ppm |
LH100L-2 |
超纯水电阻率≥10~18 MΩ.cm25℃
重金属<0.01ppm
颗粒物(0.22μm) <1个/ml |
LH100L-4 |
超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
TOC <15ppb
微生物<1CFU/ml
重金属<0.01ppm
低硅泄漏 |
LH100L-5 |
超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm) <1个/ml
TOC<1~5ppb
微生物≤1CFU/ml
热源<0.001EU/ml
重金属<0.01ppm
低硅泄漏 |
LH250L-1 |
250L/H |
超纯水电阻率≥2~10 MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
重金属<0.01ppm |
LH250L-2 |
超纯水电阻率≥10~18 MΩ.cm25℃
重金属<0.01ppm
颗粒物(0.22μm) <1个/ml |
LH250L-4 |
超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm )<1个/ml
TOC <15ppb
微生物<1CFU/ml
重金属<0.01ppm
低硅泄漏 |
LH250L-5 |
超纯水电阻率≥18MΩ.cm25℃
颗粒物(>0.22μm) <1个/ml
TOC<1~5ppb
微生物≤1CFU/ml
热源<0.001EU/ml
重金属<0.01ppm
低硅泄漏 |