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电子工业高纯水设备 型号:EW
电子工业中,生产单晶硅半导体材料、二极管、三极管、集成电路、光盘、硬盘、显象管时,都需要达到电子级标准的工艺用水,在我国,电子级水共分五个级别,部分指标如下:
指标
级别
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
EW-Ⅴ
电阻率
MΩ.cm(25℃)
18
90%时间
最小17
15
最小12
10
最小8
≥2
≥0.5
大于1μm微粒数,最大值,个/ml
1
5
100
500
大于0.5μm微粒数,最大值,个/ml
300
1000
2000
细菌个数,最大值,个/ ml
50
总有机碳含量,最大值
200
5000
二氧化硅总含量,最大值
2
20