电子束光学镀膜机(中小型设备) 型号:ZZSX
应用范围： 适用于科研院所和生产企业进行光学薄膜的研究、生产。
技术特点： 主要用于多层膜的镀制，可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。根据需要可以增加或提高配置，如真空系统选用分子泵、低温泵；真空室配低温捕集器；膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪；辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。
主要技术参数：
| 型 号 | ZZSX-500 | ZZSX-700 | ZZSX-800 | |
| 结构形式 | 箱式前开门后置抽气系统 | |||
| 真空室尺寸 (宽×深×高) mm | 500×500×680 | 700×700×860 | 800×800×860 | |
| 极限压力 | ≤5×10-4Pa | |||
| 抽气速率 | 从1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20min | |||
| 蒸 发 源 | 电子枪功率 | 6kW | ||
| 坩埚容积 | 20ml×4穴 | |||
| 阻蒸发功率 | 2.5kW | |||
| 水冷电极 | 2对(交替蒸发) | |||
| 烘烤温度 | 3500C 管状加热器或碘钨灯烘烤 | |||
| 真空系统配制 | F-1500/分子泵系统 | KT-500扩散泵系统 | K-600扩散泵系统 | |
| 光学测厚 | 光纤光路，透、反射控制， 波长380nm—760nm（可扩展） | |||
