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化学气相沉积镀膜机 型号:HYJ-400
本设备应用低压化学气相沉积技术,用于制备太阳能电池氧化锌透明导电膜。它是利用二已基锌热分解与水气进行反应成膜,也可通入其它不同种类金属有机物进行热分解反应制备所需膜层,此设备是金属有机化学气相沉积设备,是研制产业化生产的基本单元。