磁控溅射镀膜机 型号:JP-700A
应用范围：适用于企业批量化生产高致密度高结合力薄膜。
技术特点：配备DC或RF磁控溅射源，侧面溅射，可溅射金属和介质材料；溅射靶可方便清洁和更换；工件架鼠笼式多边型结构或公自转结构，装夹量大，适应性强。
主要技术参数：
| 型号 配置 | JP-700 | JP-900 |
| 溅射室尺寸 (内径×高 )mm | φ700×860 | φ900×1200 |
| 极限压力 | ≤5×10-4Pa | |
| 抽气速率 | 从大气抽至 5×10-3 Pa≤15min | |
| 真空系统 | KT-500扩散泵系统 | K-600扩散泵系统 |
| 溅射方向 | 侧面向中心溅射 | |
| 溅 射 靶 | 2个 80×750mm | 2个 120×1050mm |
| 靶 电 源 | DC 10 kW | DC 20 kW |
| 工件旋转 | 5~25r/min，连续旋转 | |
| 烘烤温度 | 室温--3000C 可控可调 | |
| 用电功率 | 三相380V 42kW | 三相380V 65kW |
