薄膜真空计 型号:ZDM-1
技术指标: 该仪器采用压阻规和电容规两支传感器,采用单片机管理,数码显示,量程自动转换,测量精度高,测量读数与被测气体种类无关。适用于真空冶炼,离子氮化、真空干燥,薄膜制造等真空获得设备及生产车间中。
主要技术指标:
1、测量范围:110KPa~1.3Pa
2、6位LED红色数码显示。
3、测量精度:110KPa~13Pa 0.5% F-S (压阻规状态)
1.3×103Pa~1.3Pa为0.6% F·S(电容规状态)
4、具有HI/LO压强设定 范围为1Pa~110KPa继电器控制输出。
5、继电器接点容量为:3A 220V AC(电阻性负载)
6、记录输出:0~10V
7、电源电压:220V±22V 50Hz
8、体积重量:99×320×280(mm)5kg
9、规管型号:压阻规+薄膜规 |