方箱电子束真空镀膜机 型号:ZZSX
应用范围：适应于科研和生产企业在半导体基片上蒸镀金、银、铝、铬、钛、镍等金属膜。
技术特点：具有蒸发速率高、膜层镀制厚，抽真空速度快、装夹量大的特点。根据不同用户要求，可选配分子泵、低温泵系统、石英晶体测厚仪等。
主要技术参数：
| 型 号 | ZZSX—700G | ZZSX—800G |
| 真空室尺寸 | 700×700×860(mm) | 800×800×860(mm) |
| 极限压力 | ≤5×10-4Pa | |
| 抽气速率 | 从大气抽至2×10-3Pa≤20min | |
| 真空系统 | KT-500扩散泵、配氟里昂冷阱，出口温度可达零下200C | K-600扩散泵、配氟里昂冷阱，出口温度可达零下200C |
| 工 件 架 | φ440mm×3行星式公、自转夹具。 | φ520mm×3行星式公、自转夹具。 |
| 电子束蒸发源 | 10kw磁偏转2700 e型电子枪一套，坩埚容积22ml×4，加速电压 10kV，束流0-1A，X、Y方向扫描. | |
| 电阻热蒸发源 | 功率2.5kw 电压５v，10v. 水冷电极２对，交替蒸发. | |
| 烘 烤 | 溴钨灯下烘烤，最高温度3000C， | |
| 用电功率 | 三相380V 24kw | 三相380V 30kw |
