光学多层膜电子束镀膜机 型号：SH157
此系列产品真空室采用不锈钢制造，配置必要的真空机组，抽速快，烘烤自动控温。
采用光学膜厚监控系统，配有e型电子束及电阻蒸发源，亦可根据用户的需要可以加配，充气系统，氟里昂冷却等。
是理想的光学工业，电子工业，科研部门，大专院校从事高性能薄膜研究和工业化生产的系列产品，欢迎广大用户选购。
真空室：宽×深×高 500×500×680 （可根据用户选定）
极限压力：5×10-4 Pa
恢复真空时间：从1×105Pa到3×10-3 Pa≤ 20min
烘烤：350oC、4.5kw
真空系统配置：K50扩散泵 ，2X-70， 2X-4机械泵
光学膜厚控制 透反射光路，波长 380nm-760nm
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